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青岛华旗科技有限公司 
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| SCRUBBER（废气处理） |
产品应用：为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备，应用于半导体行业、太阳能电池行业废气处理
产品简介：
◆处理方式： “湿法” 、“湿法 +燃烧”
◆处理原理：
湿法：多级水喷淋，使易溶于水或与水反应生成沉积的物质，已达到有毒腐蚀易燃易爆的气体完整回收。
湿法 +燃烧：采用电加热方式，有毒气体等与氧气燃烧反应生成无毒的物质及易溶于水的物质，排放物为无毒无害的气体。
◆处理的气体种类包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6(BH3)、H2、NF3、CHF3等。
◆控制方式：全自动/手动（可切换）
◆完善的报警、连锁保护措施，如断水报警、人工或自动切入外接水临时处理以及根据用户定制的不同安全处理要求以适应不同行业的实际工艺使用要求
◆气路管件采用1/4”及3/8”不锈钢管道，为耐腐蚀级316L（CARDINAL/SANDVIK）、燃烧室及喷淋室为304不锈钢，阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、塑料管道阀门采用优质PVC材料，泵采用耐腐蚀水循环泵、连接口采用标准的KF连接及VCR、卡套等接口，管道采用自动轨道焊接
主要技术指标（湿法 +燃烧）
◆外形尺寸：750mmW×1000mmD×1800mmH；
◆供电：三相四线/380VAC/50HZ/6KW(MAX)+2KW；
◆处理能力：≥100SLM (AWG-200HW型为200SLM, AWG-400HW型为400SLM)
◆空气：5-6Kg/cm2,1/4英寸管道 ,160LPM(MAX)
◆N2，5-7Kg/cm2，1/4英寸管道,50LPM(MAX)
◆设备的排风口：Φ100mm，1000LPM
◆进气管道：2进口KF50,排气管道为KF80（可应用户的规格调整）
反应参考（燃烧）
序号 气体
反应参考（实际复杂）
1
SiH4
SiH4 +2O2--------------------＞SiO2+2H2O
2
PH3
2PH3 +4O2--------------------＞P2O5+3H2O
3
AsH3
2AsH3 +4O2--------------------＞As2O5+3H2O
4
B2H6
B2H6 +4O2--------------------＞B2O5+3H2O
5
NH3
4NH3 +3O2 --------------------＞2N2+3H2O
6
SiF4
SiF4 +O2 --------------------＞SiO2+2F2
7
WF6
WF6 +3/2O2 --------------------＞WO3+3F2
8
C2F5Cl2
C2F5Cl2+4O2--------------------＞4CO2+5F2+2Cl2
9
SiH2Cl2
SiH2Cl2+3/2O2--------------------＞SiO2+ H2O +Cl2
10
H2
2H2+O2--------------------＞2H2O
11
C2F6
C2F6+O2 --------------------＞2CO2+3F2
12
SF6
SF6+O2--------------------＞SO2+3F2
13
BCl3
BCl3+5/2O2 --------------------＞B2O5+3Cl2
14
CHF3
CHF3+5/2O2--------------------＞2CO2+ H2O +3F2
15
SiCl4
SiCl4+O2 --------------------＞SiO2+ 2Cl2
16
CCl4
CCl4+O2--------------------＞CO2+2Cl2
17
BF3
BF35/2O2--------------------＞B2O5+3F2
18
C2ClF5
2C2ClF5+4O2 --------------------＞4CO2+ Cl2+5F2
19
NF3
NF3+O2--------------------＞NO2+F2(水反应或氧化) |
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